王博宇向伟谈效华戴晶怡程亮秦秀波
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00017
在加速器上, 利用不同能量的D+离子束对Ti膜进行连续辐照, 利用慢正电子湮没技术和SEM对束流辐照前后Ti膜进行表征. 结果表明, D+离子束对Ti膜造成辐照损伤, 随D+离子束能量增大, 辐照损伤的程度加重; 辐照损伤最大值在0.3 μm处; D+离子束对Ti膜表面造成不同程度的烧蚀, 随D+离子束能量增加, 膜表面烧蚀程度增加, 膜表面几何不均匀性导致膜表面出现选择性烧蚀. 数值计算表明, 随能量增加, D+离子在Ti膜中的能量沉积增大, 这与SEM观测结果相符.
关键词:
D+
,
Ti film
,
slow positron annihilation spectroscopy
